N-TEAM

국가연구협의체

소재·부품·장비분야 산업현장의 기술적 난제 및
애로사항 해결을 지원합니다.

  • [EUV-IUCC] 3N TEAM, 한양대학교 극자외선 노광기술협의체 : EUV 기술관련 기술동향
  • 한양대학교 극자외선노광기술 협의체 |
  • 2023-07-19 15:08:54|
  • 3392

안녕하세요.  
3N TEAM, 한양대학교 극자외선 노광기술협의체 남정림 연구위원 입니다.

반도체 차세대 핵심공정기술인 EUV소재 부품 장비분야 산업현장의 기술적 난제 및 애로사항 해결에 지원드리고자
VLSI Sympo에서 발표한 EUV Workshop 자료를 공유드리니 첨부 자료를 참고하시기 바랍니다.

내용관련 문의사항은 연락주시기 바랍니다.
jlnam@hanyang.ac.kr

[출처] 2023 VLSI Sympo Workshop , Japan
첨부파일