1협의체 소개
환경-에너지에서 반도체-디스플레이 산업, 부품-소재에서 전공정 및 환경유틸리티까지 플라즈마 장비 전 영역의 기술개발 역량을 보유한 국내 유일의 연구그룹
2보유 핵심기술
- 진공에서 대기압, 저온에서 고온 영역까지 다양한 플라즈마 발생장비의 설계/제작, 장비 성능 및 신뢰성 평가, 공정의 진단 및 해석기술
- 열유체 및 연소 등 전통 기계공학과 플라즈마 공학, 물리, 화학공학 등 국내최고 전문가로 연구팀 구성
- 플라즈마 기초 연구에서 기술이전 및 사업화에 이르는 전 연구개발 단계를 경험한 상용화에 강한 연구그룹
3지원분야 (지원범위,지원시설) 보유시설
- 공정개발용 상용장비 Fab, 소재·부품·센서 검증용 플라즈마 가속평가 플랫폼 및 연구개발에 요구하는 다양한 진단 및 해석용 장비 보유
-
플라즈마 발생원 설계 및 제작
-
플라즈마 진단 및 해석
-
플라즈마 장비 시스템화 및 성능-신뢰성 평가검증
- 반도체-디스플레이 플라즈마 제조 장비개발 및 평가 등 기술지원 (CVD, 식각, PEALD, RPS 등)
- 반도체-디스플레이제조 환경유틸리티기술 장비개발 및 평가 등 기술지원 (PPS, 스크러버 등)
- 반도체-디스플레이 장비용 부품소재 개발 및 평가 등 기술지원
4대표연구성과 세계최초 반도체 공정 오염제거 플라즈마 장비 상용화
- 국내 장비기업 기술이전('13), 주요 소자기업 기술 도입.
- 플라즈마 장비기술 상용화 공로로 대한민국기술대상 산업통상자원부장관상 및 정부R&D 특허기술동향 우수성과사례 선정 ('15)
-
반도체공정 오염제거
플라즈마 장비 -
디지털타임즈 (2014.8.22)
전자신문 (2014.8.22) -
2015년 대한민국기술대상
산업통상자원부 장관상 -
정부 R&D 특허기술동향조사 성과사례
10선 특허기술정보원(2015)
5기업 대상 안내 가능한 지원 항목
- 증착/식각 등 반도체-디스플레이 플라즈마 제조/환경 장비 기술 전반
- 증착/식각 등 반도체 디스플레이 등 플라즈마 제조/환경 공정 기술 전반
- 증착/식각 장비 신뢰성 향상 및 신기술개발 등
6담당자정보
-
- 연구 책임자
강우석 책임연구원
- E-mail
kang@kimm.re.kr
- Tel
042-868-7435
- 연구 책임자
-
- 실무 담당자
김대웅 선임연구원
- E-mail
dwkim@kimm.re.kr
- Tel
042-868-7922
- 실무 담당자
7홈페이지 대표 홈페이지 바로가기