1협의체 소개
- 나노박막 광물성 측정분석, 첨단소자 제조공정 실시간 진단센서 개발
- 진공 소재·부품·장비 특성평가 등 반도체·디스플레이 분야 국가 핵심 산업의 지속 성장과 기술 자립화를 위한 R&D 및 측정 서비스 수행
2보유 핵심기술
- 차세대 반도체 제조 공정의 온도, 플라즈마 밀도, 공정가스, 분자단위 불순물, 오염입자 등 공정 실시간 모니터링 센서 핵심기술
- 초박막의 광물성 및 두께, 나노 형상 고감도 광측정 기술
- 차세대 플라즈마 공정 소재부품장비 정량 평가 및 공정장비 매칭 핵심기술
- 반도체 소재·부품·장비 기초성능 평가 기술
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온도 센서
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진공펌프 복합성능평가
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플라즈마 밀도센서
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나노박막 표준물질
3지원분야 (지원범위,지원시설)
- 나노 박막두께 인증표준물질 개발 및 보급
- 반도체 소재·박막의 복소굴절률 측정 및 분석
- 진공 소재·부품 특성평가 (누설·압력·탈기체 등 특성)
- 진공 장비 특성평가 (진공펌프 등 동작성능)
- 수요기업 연계 연구개발 및 기술자문
4대표연구성과
- 반도체 공정진단·물성측정 분야 주요 핵심품목 기술 자립화 지원
- 첨단산업 측정 난제 극복 R&D 수행
반도체측정장비연구실 산업계 협업 성과 및 향후 계획
5기업 대상 안내 가능한 지원 항목
- 진공 부품 및 제품의 특성 시험
- 진공재료 및 탈기체시험
- 건식진공펌프 종합성능평가
- 플라즈마 밀도 측정
- 분광타원계측기 측정
6담당자정보
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- 연구 책임자
제갈원 반도체측정장비팀장
- E-mail
wchegal@kriss.re.kr
- Tel
042-868-5663
- 연구 책임자
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- 실무 담당자
김준오 책임연구원
- E-mail
jokim@kriss.re.kr
- Tel
042-868-5186
- 실무 담당자
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