국가 주력산업의 소재·부품·장비 관련 가치사슬(소재→부품→장비→공정) 강화를 위한 플라즈마 R&D Hub 형 국가연구실

• 플라즈마 공정가스, 코팅소재(Al₂O₃, YSZ, Y₂O₃ 등), 이차전지 양극소재, 3D 프린터용 금속 분말 소재, 내 플라즈마 코팅을 통한 식각, 증착 등 장비 부품의 성능테스트 및 개발 등

• PFC 대체가스 개발, 플라즈마 공정용 소재 부품 장비 개발(식각, 증착, 트리트먼트 등), 코팅 소재 및 플라즈마 대면 소재 부품 Test-Bed 지원 및 기술 개발 등

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  소재

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  부품

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  장비

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  공정

• 세계 유일의 종합적 플라즈마 공정가스 물성 측정기술 보유
• 3D NAND 공정용 가스데이터set 및 공정시뮬레이션 기술 개발
  
• 다양한 플라즈마 대면 소재·부품·장비 개발 및 R&D Test-bed 운영
  
• 플라즈마 분체 처리기술 보유(알루미나, BN, 산화방지제, 안료 등)
  

• 소부장 분야 플라즈마 기술 자문
• 공동기술개발 또는 기술이전

• • 연구 책임자

    윤정식 플라즈마공정장비지능화연구단장

  • E-mail

    jsyoon@kfe.re.kr

  • Tel

    063-440-4030

• • 실무 담당자

    조기환 사업관리팀장

  • E-mail

    khcho@kfe.re.kr

  • Tel

    063-440-4004